佛山市副市长文曦调研广东中科微纳院

2月22日上午，佛山市副市长文曦到广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“研究院”）开展中试平台专题调研。市政府副秘书长韩轲、市科技局党组书记、局长薛立伟等陪同调研。

文市长一行首先前往成果展厅，详细了解研究院建设定位、公共服务平台建设及成果转化等方面建设成效，随后来到洁净实验室参观8寸硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台。

文市长表示，研究院建设的半导体微纳加工中试平台，是佛山重要的科技转化平台。通过联合研发、共建产线、超净实验室服务、中试代工、科教融合、人才培养等方式，与企业、高校、科研院所开展多维度合作，有效促进项目的孵化转化落地，为佛山吸引更多高质量的科技人才与优质项目。鼓励研究院继续发挥好“研究中心+微纳加工平台+育成中心”创新运营模式的优势，加快实现半导体科技成果的高效转化，继续推进研究院二期和产业园建设，助力佛山实现产业转型升级。

文市长一行参观展厅

文市长一行参观洁净实验室

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